DECOMPRESSION DRYING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

According to the problem to be solved, in a seat type substrate drying apparatus having a multistage chamber type decompression drying apparatus, decompression movement of all chambers can be dealt with by a single vacuum pump. According to a solution, the decompression drying apparatus comprises: a plurality of decompression chambers; a single vacuum pump in which an air inlet hole is accessed to each chamber via a pipe; a valve controlling an exhaust and decompression state of each chamber, and individually installed in the pipe by corresponding to each chamber; and a control device controlling each valve in accordance with a predetermined decompression sequence. [과제] 다단 챔버식 감압 건조 장치를 가지는 시트형 기판용 건조 장치에서, 단일의 진공 펌프로 모든 챔버의 감압 동작에 대응한다. [해결 수단] 감압 건조 장치는 복수의 감압용 챔버, 각 챔버에 흡기구가 배관을 경유하여 접속된 단일의 진공 펌프, 각 챔버의 배기 및 감압 상태를 제어하는 것으로서 상기 각 챔버에 대응하여 각각 상기 배관에 설치된 밸브, 미리 정해진 감압 시퀀스에 따라 각 밸브를 제어하는 제어 장치를 구비하고 있다.