QUALITY IMPROVEMENT APPARATUS OF LASER BEAM

The present invention relates to a quality improvement apparatus of a laser beam. More specifically, the present invention relates to a quality improvement apparatus of a laser beam, which is capable of stably operating even in the rigorous conditions and generating a laser beam having excellent wave front quality. The quality improvement apparatus of a laser beam, which includes a wave front measurement unit, a control unit, and a wave front information unit, further comprises: an active wave front information extraction unit which interpolates wave front information when a non-informative region having no information is present, an active correction voltage calculation unit which recalculates a correction voltage when a saturated voltage is present in a calculated correction voltage, or a preliminary inspection unit which preliminarily grasps performance of a device. 본 발명은 레이저 빔 품질 향상 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고품질의 레이저 빔 파면을 유지하기 위하여 파면측정부, 제어부 및 파면보정부로 이루어지는 레이저 빔 품질 향상 장치에 파면 정보가 없는 무정보 영역이 존재할 때 이를 보간하는 능동적 파면정보 추출부, 또는 계산된 보정 전압에서 포화 전압이 존재할 때 보정 전압을 재계산하는 능동적 보정전압 계산부, 또는 장치의 성능을 사전에 파악하는 사전 검사부,를 더 포함함으로써, 열악한 환경에서도 안정적인 운용이 가능할 뿐만 아니라 파면 품질도 우수한 레이저 빔을 생성할 수 있도록 한 레이저 빔 품질 향상 장치에 관한 것이다.