FABRICATION METHOD FOR ELECTRODE USING SENSOR AND THE SENSOR THEREBY

The present invention relates to a method for manufacturing an electrode for a sensor, comprising a step of forming a polymer pattern on a substrate by using perfluorinated polymer; a step of forming a pattern by applying a dispersion liquid including a silver nanowire to the formed polymer pattern;...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LEE, DA HYEOK, JUNG, SEOK HEON, LEE, JIN KYUN, KIM, MYOUNG SOO, PARK, SE GEUN
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a method for manufacturing an electrode for a sensor, comprising a step of forming a polymer pattern on a substrate by using perfluorinated polymer; a step of forming a pattern by applying a dispersion liquid including a silver nanowire to the formed polymer pattern; a step of applying and laminating a dispersion liquid including a zinc oxide nanorod onto the silver nanowire pattern; a step of applying a dispersion liquid including a silver nanowire onto the laminated zinc oxide nanorod; and a step of removing the perfluorinated polymer pattern. The method for manufacturing an electrode for a sensor according to the present invention is a method of patterning and laminating a silver nanowire and a zinc oxide nanorod, and it is possible to pattern the silver nanowire and the zinc oxide nanorod without damaging the substrate. In addition, the silver nanowire and the zinc oxide nanorod are cross-coated, electrical connection between individual zinc oxide nanorods is excellent, and the method can be applied to a flexible substrate. Particularly, according to the method, it is possible to manufacture a flexible electrode in which a silver nanowire and a zinc oxide nanorod are patterned without damage of an organic substrate. In addition, when the manufactured electrode for a sensor is applied to a gas sensor or a UV sensor, excellent reaction characteristics are represented. 본 발명은 기판에 과불소 중합체를 사용하여 중합체 패턴을 형성하며, 상기 형성된 중합체 패턴에 은 나노 와이어를 포함하는 분산액을 도포하여 패턴을 형성하고, 상기 은 나노 와이어 패턴 상부에 산화아연 나노로드를 포함하는 분산액을 도포하여 적층시키고, 상기 적층된 산화아연 나노로드 상부에 은 나노 와이어를 포함하는 분산액을 도포한 후, 과불소 중합체 패턴을 제거하여 센서용 전극을 제조하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 센서용 전극의 제조방법은 은 나노 와이어 및 산화아연 나노로드를 패턴화 및 적층시키는 방법으로, 기판에 손상을 가하지 않고 은 나노 와이어 및 산화아연 나노로드를 패턴화시킬 수 있다. 또한, 은 나노 와이어 및 산화아연 나노로드를 교차 코팅함으로서 개별 산화아연 나노로드간의 전기적 연결성이 우수하여 유연성 기판에 적용할 수 있다. 특히, 유기 기판의 손상 없이 은 나노 와이어 및 산화아연 나노로드가 패턴화된 유연성 전극을 제조할 수 있는 방법이다. 또한, 제조되는 센서용 전극을 가스 센서 또는 UV 센서로 응용하는 경우 우수한 반응 특성을 나타낸다.