LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

멀티-바디 시스템의 동기식 위치설정을 제어하기 위한 제어 디바이스를 개시하며, 이 제어 디바이스는, 멀티-바디 시스템의 제1 바디(MT)의 요구된 위치와 제1 바디의 측정 위치 간의 차이를 나타내는 제1 오차 신호(e)와, 멀티-바디 시스템의 제2 바디(WT)의 요구된 위치와 제2 바디의 측정 위치 간의 차이를 나타내는 제2 오차 신호(e)를 수신하기 위한 입력단을 포함하며, 이 제어 디바이스는, 제1 오차 신호(e)를 기반으로 하는, 제1 바디를 구동하도록 구성된 위치설정 디바이스를 구동하기 위한 1차의 제1 구동 신호(F)를 결정하고, 제2 오차 신호(e)를 기반으로 하는, 제2 바디를 구동하도록 구성된 위치설정 디바이스를 구동하기 위한 1차의 제2 구동 신호(F)를 결정하고, 제2 오차 신호(e)를 기반으로 하는, 제1 바디를 구동하도록 구성된 위치설정 디바이스를 구동하기 위한 2차의 제1 구동 신호(F)를 결정하고, 제1 오차 신호(e)를 기반으로 하는, 제2 바디를 구동하도록 구성된 위치설정 디바이스를 구동하기 위한 2차의 제2 구동 신호(F)를 결정하고, 결합된 제1 구동 신호(F)를 획득하기 위해 1차의 제1 구동 신호(F)와 2차의 제1 구동 신호(F)를 결합하고, 결합된 제2 구동 신호(F)를 획득하기 위해 1차의 제2 구동 신호(F)와 2차의 제2 구동 신호(F)를 결합하도록 구성되며, 이 제어 디바이스는 또한 결합된 제1 구동 신호(F) 및 결합된 제2 구동 신호(F)를 각자의 위치설정 디바이스에 출력하기 위한 출력단을 포함한다. A control device configured to determine a primary first drive signal, based on a first error signal representing a difference between desired and measured positions of a first body, for driving a positioner driving the first body; determine a primary second drive signal, based on a second error signal representing a difference between desired and measured positions of a second body, for driving a positioner driving the second body; determine, based on the second error signal, a secondary first drive signal for driving the first body positioner; determine, based on the first error signal, a secondary second drive signal for driving the second body positioner; combine the primary and secondary first drive signals and combine the primary and secondary second drive signals; and output the combined first and second drive signals to the respective positioning devices.