END EFFECTOR FOR WAFER TRANSFER SYSTEM AND METHOD OF TRANSFERRING WAFERS

An end effector of a wafer transfer system includes synchronously movable blades operable to hold and release wafers. The end effector comprises an end effector housing including a first blade mount coupled to a first blade, a second blade mount coupled to a second blade, and an actuator operable to move the blade mounts on respective linear rails. The actuator includes a longitudinally movable piston coupled to the blade mounts by actuator links, respectively. The actuator links are pivotally coupled to the longitudinally movable piston at respective first ends thereof and to the first and second blade mounts at respective second ends thereof wherein moving the piston towards a retracted position causes the blades to synchronously move laterally towards each other and moving the piston towards the retracted position causes the blades to synchronously move laterally away from each other so as to hold or release a wafer. 웨이퍼 전달 시스템의 엔드 이펙터는 웨이퍼들을 홀딩하고 릴리즈하도록 동작가능한 동시에 이동가능한 블레이드들 (blades) 을 포함한다. 엔드 이펙터는 제 1 블레이드에 커플링된 제 1 블레이드 장착부, 제 2 블레이드에 커플링된 제 2 블레이드 장착부, 및 각각의 선형 레일들 상에서 블레이드 장착부들을 이동시키도록 동작가능한 액추에이터를 포함하는 엔드 이펙터 하우징을 포함한다. 액추에이터는 각각의 액추에이터 링크들에 의해 각각의 블레이드 장착부들에 커플링된 세로로 이동가능한 피스톤을 포함한다. 액추에이터 링크들은 세로로 이동가능한 피스톤의 제 1 단부들 각각에서 세로로 이동가능한 피스톤에 그리고 제 1 블레이드 장착부 및 제 2 블레이드 장착부의 제 2 단부들 각각에서 제 1 블레이드 장착부 및 제 2 블레이드 장착부에 피봇가능하게 커플링되고, 웨이퍼를 홀딩하거나 릴리즈하도록, 피스톤을 후퇴된 (retracted) 위치를 향해 이동시키는 것은 블레이드들로 하여금 서로를 향해 측방향으로 동시에 이동하게 하고, 피스톤을 후퇴된 위치를 향해 이동시키는 것은 블레이드들로 하여금 서로 멀어지게 측방향으로 동시에 이동하게 한다.