TRIPLE MODE ELECTROSTATIC COLLIMATOR

시스템은 이온 빔을 수신하는 제 1 전극; 제 1 전극을 통과한 후의 이온 빔을 수신하는 제 2 전극, 제 1 및 제 2 전극은 제 1 또는 제 2 전극 중 하나상의 볼록한 표면 및 다른 전극 상의 오목한 표면에 의해 정의된 업스트림 갭을 형성하고, 상기 제 2 전극을 통과한 후의 상기 이온 빔을 수신하는 제 3 전극, 제 2 및 제 3 전극은 제 2 또는 제 3 전극들 중 하나상의 볼록한 표면 및 다른 전극들 상의 오목한 표면에 의해 정의된 다운스트림 갭을 형성하고, 제 2 전극은 두개의 오목한 표면들 또는 두개의 볼록한 표면들을 갖고; 및 이온 빔이 제 1, 제 2, 및 제 3 전극을 통과할 때 이온 빔을 가속 및 감속시키는 제 1, 제 2 및 제 3 전극에 독립적으로 전압 신호들을 공급하는 전압 공급 시스템을 포함한다. A system includes a first electrode to receive an ion beam, a second electrode to receive the ion beam after passing through the first electrode, the first and second electrode forming an upstream gap defined by a convex surface on one of the first or second electrode and concave surface on the other electrode, a third electrode to receive the ion beam after passing through the second electrode, wherein the second and third electrode form a downstream gap defined by a convex surface on one of the second or third electrode and concave surface on the other electrode, wherein the second electrode has either two concave surfaces or two convex surfaces; and a voltage supply system to independently supply voltage signals to the first, second and third electrode, that accelerate and decelerate the ion beam as it passes through the first, second, and third electrode.