PLASMA GENERATION SOURCE EMPLOYING DIELECTRIC CONDUIT ASSEMBLIES HAVING REMOVABLE INTERFACES AND RELATED ASSEMBLIES AND METHODS

제거 가능한 인터페이스들 및 관련된 조립체들을 갖는 유전체 도관 조립체들을 채용하는 플라즈마 생성 소스, 및 방법들이 개시된다. 플라즈마 생성 소스(PGS)는, 각각, 플라즈마의 생성을 위한 전구체 가스를 수용하기 위한 그리고 플라즈마를 방출하기 위한 입력 및 출력 포트들을 갖는 내부 챔버를 형성하는 다수의 내부 표면들을 갖는 엔클로져 본체를 포함한다. 유전체 도관 조립체는, 가스 및 플라즈마를, 미립자들이 생성될 수 있는 내부 표면으로부터 떨어져서 안내할 수 있다. 유전체 도관 조립체는 제 1 및 제 2 크로스-도관 세그먼트들을...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DAO HUUTRI, NG SIU TANG, LEE CHANGHUN, COTLEAR ROBERTO CESAR
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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