PLASMA GENERATION SOURCE EMPLOYING DIELECTRIC CONDUIT ASSEMBLIES HAVING REMOVABLE INTERFACES AND RELATED ASSEMBLIES AND METHODS

제거 가능한 인터페이스들 및 관련된 조립체들을 갖는 유전체 도관 조립체들을 채용하는 플라즈마 생성 소스, 및 방법들이 개시된다. 플라즈마 생성 소스(PGS)는, 각각, 플라즈마의 생성을 위한 전구체 가스를 수용하기 위한 그리고 플라즈마를 방출하기 위한 입력 및 출력 포트들을 갖는 내부 챔버를 형성하는 다수의 내부 표면들을 갖는 엔클로져 본체를 포함한다. 유전체 도관 조립체는, 가스 및 플라즈마를, 미립자들이 생성될 수 있는 내부 표면으로부터 떨어져서 안내할 수 있다. 유전체 도관 조립체는 제 1 및 제 2 크로스-도관 세그먼트들을 포함한다. 유전체 도관 조립체는, 갭들을 남겨두지 않고, 제 2 크로스-도관 세그먼트로부터, 제 1 크로스-도관 세그먼트의 제 1 크로스-도관 인터페이스들과 제거 가능하게 정렬되는 말단부들로 연장되는 평행한 도관 세그먼트들을 더 포함한다. 이러한 방식으로, 유전체 도관 조립체는 쉽게 서비싱되고, 미립자 생성을 감소시키며, 미립자 생성을 출력 포트로부터 멀리 방지한다. Plasma generation source employing dielectric conduit assemblies having removable interfaces and related assemblies and methods are disclosed. The plasma generation source (PGS) includes an enclosure body having multiple internal surfaces forming an internal chamber having input and output ports to respectively receive a precursor gas for generation of plasma and to discharge the plasma. A dielectric conduit assembly may guide the gas and the plasma away from the internal surface where particulates may be generated. The dielectric conduit assembly includes a first and second cross-conduit segments. The dielectric conduit assembly further includes parallel conduit segments extending from the second cross-conduit segment to distal ends which removably align with first cross-conduit interfaces of the first cross-conduit segment without leaving gaps. In this manner, the dielectric conduit assembly is easily serviced, and reduces and contains particulate generation away from the output port.