SILANE GAS SUPPLY

The present invention relates to a silane gas supply comprising: a first supply part which is connected to a trailer, to which silane gas is supplied, and which discharges the silane gas inside a pipe when the trailer is being replaced and connected; a second supply part receiving the silane gas of the trailer through the first supply part to supply the silane gas to a process device; and a burn box processing the silane gas discharged from the first supply part. The first supply part includes: a flow rate control vent controlling a flow rate of the silane gas discharged to the burn box to prevent excessive silane gas from being discharged to the burn box; and a purge vent line limitlessly discharging the residual silane gas and purge gas supplied by a purge gas control part to the burn box. The present invention provides effects of improving safety and reliability as the inflow rate of the silane gas to the burn box is limited when the silane gas is being discharged and the flow rate of the discharged purge is not limited during a purge in order to prevent explosion caused by excessive silane gas flowing into the burn box. 본 발명은 실란 가스 공급장치에 관한 것으로, 트레일러가 연결되어 실란 가스가 공급되며, 상기 트레일러를 교체 연결할 때 배관 내의 실란 가스를 벤트하는 제1공급부와, 상기 제1공급부를 통해 상기 트레일러의 실란 가스를 공급받아 공정장치로 공급하는 제2공급부와, 상기 제1공급부에서 벤트되는 실란 가스를 처리하는 번박스를 포함하는 실란 가스 공급장치에 있어서, 상기 제1공급부는 상기 번박스로 벤트되는 상기 실란 가스의 유량을 제어하여 과유량의 실란 가스가 상기 번박스로 벤트되는 것을 방지하는 유량제어벤트라인과, 퍼지가스제어부에 의해 공급된 퍼지가스와 잔류 실란 가스를 유량의 제한 없이 상기 번박스로 벤트하는 퍼지벤트라인을 포함한다. 본 발명은 실란 가스를 벤트할 때에는 번박스로 유입되는 실란 가스의 유량을 제한하고, 퍼지 시에는 퍼지 가스의 벤트 유량을 제한하지 않도록 함으로써, 번박스에 유입되는 실란 가스의 과유량에 의한 폭발이 발생함을 방지하여 안전성과 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.