APPARATUS FOR PREVENTING SAGGING OF SUBSTRATE TRANSPORTING SHAFT

The present invention provides a device to prevent a substrate transfer shaft from sagging, capable of having a structure to reduce the number of bearings while conveniently maintaining bearings supporting a middle part of a substrate transfer shaft to prevent the shaft from sagging. To achieve the purpose, the device (100) includes: a first shaft (110) combined with multiple transfer rollers (130), supporting a substrate, by staying away from rollers in a longitudinal direction, of which end is supported to be rotatable by a shaft support block (140), and of which the other end includes a combination groove part (111); a second shaft (120) combined with the transfer rollers (130) by staying away from the rollers in a longitudinal direction, of which end includes a combination protruding part (121) inserted into the combination groove part (111), and of which the other end is supported to be rotatable by the shaft support block (140); and a support unit combined with a connection part of the first shaft (110) and the second shaft (120) to support the first and second shafts (110)(120) to be rotatable while preventing sagging. 본 발명은 기판 이송 샤프트의 처짐 방지를 위해 그 중간부를 지지하는 베이링의 유지보수를 간편하게 수행할 수 있도록 하는 동시에 베어링의 설치 수량을 줄일 수 있는 구조를 갖는 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치를 제공함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 기판 이송 샤프트의 처짐 방지 장치(100)는, 기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되며, 타측단에는 결합홈부(111)가 형성된 제1샤프트(110); 기판을 지지하는 이송롤러(130)가 길이방향으로 이격되어 다수로 결합되고, 일측단에는 상기 결합홈부(111)에 삽입되어 결합되는 결합돌출부(121)가 형성되고, 타측단은 샤프트 지지블록(140)에 의해 회전 가능하게 지지되는 제2샤프트(120); 및 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)의 연결부에 결합되어 상기 제1샤프트(110)와 제2샤프트(120)를 회전 가능하게 지지하며 처짐을 방지하는 지지수단을 포함한다.