AUTO SHUTTER FOR SUBSTRATE PROCESSING DEVICE

The present invention relates to an auto shutter of a substrate processing device. The present invention includes: a fixing block (10) combined with upper and lower partitions (3)(4) dividing first and second processing space parts (1)(2) in a substrate processing device, and defining a transfer space part (5) which is a passage for a substrate (S) between the upper and lower partitions (3)(4); upper and lower rotation support parts (20)(30) fixed to the upper and lower parts of the transfer space part (5) of the fixing block (10), respectively; an upper opening and closing part (40) fixed to the upper rotation support part (20) to be rotated, and forming a downward air curtain towards the transfer space part (5) while the transfer space part is opened; and a lower opening and closing part (50) fixed to the lower rotation support part (30) to be rotated, and forming an upward air curtain towards the transfer space part (5) while the transfer space part is opened. Therefore, the present invention is capable of reducing manufacturing costs. 본 발명은 기판 처리장치의 오토셔터에 관한 것으로, 기판 처리장치 내의 제1처리공간부(1)와 제2처리공간부(2)를 분할하는 상부 격벽(3) 및 하부 격벽(4)에 결합되며, 상기 상부 격벽(3)과 하부 격벽(4)의 사이에서 기판(S)이 지나는 통로인 이송공간부(5)를 정의하는 고정블록(10)과, 상기 고정블록(10)의 상기 이송공간부(5)측의 상부와 하부에 각각 고정된 상부회전지지부(20) 및 하부회전지지부(30)와, 상기 상부회전지지부(20)에 회전가능하도록 고정되며, 상기 이송공간부(5)가 오픈된 상태에서 상기 이송공간부(5)측으로 하향의 에어커튼을 형성하는 상부개폐부(40)와, 상기 하부회전지지부(20)에 회전가능하도록 고정되며, 상기 이송공간부(5)가 오픈된 상태에서 상기 이송공간부(5) 측으로 상향의 에어커튼을 형성하는 하부개폐부(50)를 포함한다.