OBJECT POSITIONING IN LITHOGRAPHY

대상물 위치설정 시스템은, 대상물(P); 대상물의 위치(APOS)를 측정하는 측정 시스템(MS); 대상물을 위치설정하는 액추에이터 시스템(AS); 액추에이터 시스템을 구동하도록 구성되는 제어 시스템(CU, OBS)을 포함하고, 측정 시스템의 각각의 센서는 대상물 상의 연계된 측정 영역을 가지며, 대상물 상의 적어도 하나의 측정 영역의 위치는 대상물의 위치에 의존적이며, 제어 시스템(CU, OBS)은 대상물의 내부 동적 거동(IDB)을 추산(estimate)하기 위해 대상물의 동적 모델을 갖는 관측기(OBS)를 포함하고, 동적 모델은 대상물의 위치 상의 적어도 하나의 측정 영역의 위치의 의존도를 포함하며, 또한 제어 시스템(CU, OBS)은 관측기(OBS)의 출력(IDB)에 의존도를 갖고 액추에이터 시스템(AS)을 구동하도록 구성된다. An object positioning system includes an object; a measurement system to measure the position of the object, wherein each sensor of the measurement system has an associated measurement area on the object and wherein a location of at least one measurement area on the object is dependent on the position of the object; an actuator system to position the object; a control system configured to drive the actuator system, wherein the control system includes an observer with a dynamic model of the object to estimate an internal dynamic behavior of the object, wherein the dynamic model includes the dependency of the location of at least one measurement area on the position of the object, and wherein the control system is configured to drive the actuator system in dependency of an output of the observer.