NANOSCALE SPECIMEN MANUFACTURING APPARATUS, METHOD AND SYSTEM USING VAN DER WAALS' FORCE

The present invention relates to a nanoscale specimen manufacturing apparatus, a method and a system using van der Waals′ force. The apparatus comprises: a stage provided on an optical microscope, and configured with a nanoscale testing jig and a nanoscale sample placing unit; and a nanoscale manipulator having a tip on one end, attached with a nanoscale sample placed on the nanoscale sample placing unit, to lift the nanoscale sample. A first van der Waals′ force between the nanoscale sample placing unit and the nanoscale sample is smaller than a second van der Waals′ force between the tip and the nanoscale sample. The second van der Waals′ force is smaller than a third van der Waals′ force between the nanoscale testing jig and the nanoscale sample, to produce the nanoscale specimen by moving the nanoscale sample from the nanoscale sample placing unit to the nanoscale testing jig. According to the present invention, the nanoscale sample is produced using van der Waals′ force and an adhesive agent (e.g. UV glue) having an appropriate viscosity, without using an FIB cutting and a Pt welding, with an effect of preventing damage on the nanowire caused by the FIB cutting; and a contamination on a freestanding part of the nanowire due to the Pt welding. 본 발명은 반데르발스 포스를 이용한 나노시험편 제작장치, 이를 이용한 나노시험편 제작방법, 나노시험편 제작 시스템에 관한 것이다. 이를 위하여 광학현미경에 구비되고, 나노시험 지그 및 나노 시료 안착부가 구성되는 스테이지; 및 단부에 팁이 구성되고, 팁에 나노 시료 안착부에 안착된 나노 시료가 부착되며, 나노 시료를 들어올리는 나노조작기;를 포함하고, 나노 시료 안착부와 나노 시료 사이에 작용되는 제1반데르발스 포스의 크기가 팁과 나노 시료 사이에 작용되는 제2반데르발스 포스의 크기보다 작으며, 제2반데르발스 포스의 크기보다 나노시험 지그와 나노 시료 사이에 작용되는 제3반데르발스 포스의 크기가 더 크고, 나노 시료 안착부에서 나노시험 지그로 나노 시료를 이동시켜서 나노시험편을 제작하는 것을 특징으로 하는 반데르발스 포스를 이용한 나노시험편 제작장치가 제공될 수 있다. 이에 따르면 FIB cutting 및 Pt welding을 이용하지 않고, 반데르발스 포스 및 적정 점도의 접착제(예를 들면 UV 글루)를 이용하여 나노시험편을 제작하게 되므로 FIB cutting에 의한 나노와이어의 손상과 Pt welding에 의한 나노와이어의 프리스탠딩 부분의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.