APPARATUS FOR VACUUM PROCESS USING KILN AND THE PROCESS METHOD THEREOF

The present invention relates to processing a vacuum and, more specifically, relates to an apparatus and a method to process a vacuum in a container using a kiln which remarkably improves a cooling efficiency of the air heated in the kiln, and enhances the vacuum level of the container. To achieve this purpose, the apparatus of the present invention comprises: a kiln with a container having a vacuum placed inside; a heat-generating unit installed in the kiln around the container to heat the container; a vacuum rotary pump assembly line connected to the container to make a vacuum in the container; and a nitrogen supply assembly line connected to the container to supply nitrogen to substitute the remaining gas in the container. The vacuum rotary pump assembly line comprises: a connecting line connected to the container; and a vacuum rotary pump connected to the connecting line to perform pumping to make a vacuum in the container. In between the container and the vacuum rotary pump, are additionally placed a vacuum chamber to increase a vacuum efficiency of the container; and an auxiliary pump to make a vacuum in the vacuum chamber. In between the container and the vacuum chamber is additionally placed a cooling unit to remove moisture and to cool the heated air. The cooling unit winds a liquid nitrogen supply line where the liquid nitrogen circulates on an external surface of the chamber to cool the heated air. 본 발명은 고진공 처리에 관한 것으로서, 특히 가마에서 가열된 공기의 냉각효율을 현저히 향상시키고 용기의 진공도를 더욱 개선할 수 있는 가마를 이용한 용기 고진공 처리장치 및 처리방법에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은 진공시키고자 하는 용기가 내부에 배치되는 가마, 상기 용기를 가열시키기 위하여 상기 가마 내부에 상기 용기 주위로 설치되는 발열장치, 상기 용기에 연결되어 상기 용기 내부를 진공시키기 위한 진공 로터리펌프 어셈블리 라인 및 상기 용기에 연결되어 질소를 공급하여 용기 내 잔류가스를 치환시키기 위한 질소 공급 어셈블리 라인이 구성되는 가마를 이용한 용기 고진공 처리장치에 있어서, 상기 진공 로터리펌프 어셈블리 라인은, 상기 용기와 연결되는 연결라인; 및 상기 연결라인에 연결되어 상기 용기를 진공시키기 위한 펌핑작업을 수행하는 진공 로터리펌프가 구성되고, 상기 용기와 진공 로터리펌프 사이에는, 상기 용기의 진공효율을 증대시키기 위한 진공챔버; 및 상기 진공챔버를 진공시키기 위한 보조펌프가 더 구비되며, 상기 용기와 진공챔버 사이에는 수분을 제거하고 가열된 공기를 쿨링시키기 위한 쿨링장치가 더 구비되되, 상기 쿨링장치는 챔버 외면에 액체질소가 순환되는 액체질소 공급라인을 권취시켜 가열된 공기를 쿨링시키는 것을 특징으로 하는 가마를 이용한 고진공 처리장치를 제공한다.