METHOD OF MAKING A NANOSTRUCTURE AND NANOSTRUCTURED ARTICLES

반응종으로 기재의 주 표면을 에칭하면서 사실상 동시에 가스상 혼합물로부터 플라즈마 화학 증착에 의해 표면에 층을 침착시킴으로써 나노구조체를 제조하는 방법 및 나노구조화 물품. 본 방법은 기재를 제공하는 단계, 플라즈마로 형성될 때 기재 상에 층을 침착시킬 수 있는 제1 가스종을, 플라즈마로 형성될 때 기재를 에칭할 수 있는 제2 가스종과 혼합하여, 가스상 혼합물을 형성하는 단계, 가스상 혼합물을 플라즈마로 형성하는 단계, 및 기재의 표면을 플라즈마에 노출시켜 - 표면이 에칭되고, 사실상 동시에, 에칭된 표면의 적어도 일부분 상에 층...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FRANKE CARSTEN, ZEHENTMAIER SEBASTIAN F, BATES DANIEL S, BERGER MICHAEL S, DAVID MOSES M, SETH JAYSHREE, YU TA HUA
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE ADHESIVES CHEMISTRY DYES METALLURGY MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS MISCELLANEOUS COMPOSITIONS NATURAL RESINS NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL PAINTS PERFORMING OPERATIONS POLISHES PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Schreiben Sie den ersten Kommentar!