ABRASIVE PARTICLES, METHOD OF MAKING ABRASIVE PARTICLES, AND ABRASIVE ARTICLES

연마 입자의 제조 방법은 세라믹 입자를 유기실란 및 산소를 포함하는 성분으로부터 형성된 유기실란-유래 플라즈마에 노출시켜서 플라즈마-개질된 세라믹 입자를 형성하는 단계; 및 커플링제를 제2 플라즈마-처리된 세라믹 입자와 접촉시켜서 연마 입자를 제공하는 단계를 포함한다. 이러한 방법에 의해서 제조가능한 연마 입자 및 그를 함유하는 연마 입자가 또한 개시된다. A method of making abrasive particles includes exposing ceramic particles to an organosilane-derive...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GIVOT MAIKEN, CULLER SCOTT R, STACH PIOTR S, DAVID MOSES M
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:연마 입자의 제조 방법은 세라믹 입자를 유기실란 및 산소를 포함하는 성분으로부터 형성된 유기실란-유래 플라즈마에 노출시켜서 플라즈마-개질된 세라믹 입자를 형성하는 단계; 및 커플링제를 제2 플라즈마-처리된 세라믹 입자와 접촉시켜서 연마 입자를 제공하는 단계를 포함한다. 이러한 방법에 의해서 제조가능한 연마 입자 및 그를 함유하는 연마 입자가 또한 개시된다. A method of making abrasive particles includes exposing ceramic particles to an organosilane-derived plasma formed from components comprising an organosilane and oxygen to form plasma-modified ceramic particles; and contacting a coupling agent with the second plasma-treated ceramic particle to provide the abrasive particle. Abrasive particles preparable by the method and abrasive particles containing them are also disclosed.