JIG AND METHOD FOR ASSEMBLING WAFER TRAY

The present invention relates to a jig and a method for assembling a wafer tray, wherein the jig for assembling a wafer tray supports assembly of a wafer tray and easily loading multiple wafers onto the wafer tray. The jig for assembling a wafer tray is to assemble a lower tray including a wafer loa...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HONG, SA IN, JIN, BO HYUN, SIN, HWAN UK, YOO, JONG HYUN, PARK, JONG CHAN, KANG, CHUL WOO, JANG, DONG HYUN, CHOI, MIN HO
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:The present invention relates to a jig and a method for assembling a wafer tray, wherein the jig for assembling a wafer tray supports assembly of a wafer tray and easily loading multiple wafers onto the wafer tray. The jig for assembling a wafer tray is to assemble a lower tray including a wafer loading unit on which a wafer is mounted, to an upper tray connected to the lower tray in order for the wafer to be exposed through a wafer exposing opening. The jig for assembling a wafer tray includes: a main jig including a base plate and a support wall protruding from the outer side of the base plate to the upper part, wherein the main jig mounts the lower tray on the upper part of the base plate and the inner side of the support wall; and a wafer loading guide panel located in the upper part of the lower tray when the lower tray is mounted on the main jig, wherein the wafer loading guide panel includes a guide panel main body with at least an opening for guiding a wafer, which guides the loading of the wafer to the wafer loading unit. 본 발명은 복수의 웨이퍼를 웨이퍼 트레이에 용이하게 로딩하고 웨이퍼 트레이의 조립을 지원하는 웨이퍼 트레이 조립 지그 및 웨이퍼 트레이 조립 방법에 대한 것이다. 본 발명은, 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 로딩부를 포함하는 하부 트레이와, 웨이퍼 노출개구를 통해 상기 웨이퍼가 노출되도록 상기 하부 트레이와 결합하는 상부 트레이의 조립을 위한 웨이퍼 트레이 조립 지그에 있어서, 베이스 판과 상기 베이스 판의 외측에서 상부로 돌출된 지지벽을 포함하여 상기 베이스 판의 상부와 상기 지지벽의 내측에 상기 하부 트레이를 안착시키는 메인 지그; 및 상기 메인 지그에 상기 하부 트레이가 안착된 상태에서 상기 하부 트레이의 상부에 위치되며, 상기 웨이퍼 로딩부로의 상기 웨이퍼의 로딩을 가이드하는 웨이퍼 가이드용 개구가 적어도 하나 형성된 가이드패널 본체를 포함하는 웨이퍼로딩 가이드패널을 포함하는 웨이퍼 트레이 조립 지그 및 이를 이용한 조립 방법을 제공한다.