LIGHT SOURCE DEVICE AND EXPOSURE DEVICE

The purpose of the present invention is to provide a light source device which uses a plurality of light sources having different wavelengths and does not need to strictly dispose the light sources in a predetermined arrangement. A plurality of LD modules (1, 2) each include one laser diode (LD) and one condensing lens and emit laser beams having different wavelengths. The LD of each of the LD modules (1, 2) is controlled by a controller (99) and controls lighting, non-lighting, and an output (illumination). A first optical fiber bundle unit (b1) receives exit light of three LD modules (1) and one LD module (2), and integrates the exit light into one second optical fiber (7) through four first optical fibers (5) and a first connector (6). In addition, the three second optical fibers (7) are guided to a second optical fiber bundle unit (b2) such that an exit end side thereof is tied in an arrangement pattern according to a shape of a light irradiation region in a DMD (56) inside an exposure head (18), is connected to a third optical fiber (9), is connected to an incident optical system (40) through a second connector (10), and introduces a laser beam into the exposure head (18) of an exposure device (B). 본 발명은 다른 파장의 복수의 광원을 사용하고, 또한 광원을 소정의 배열로 엄격하게 배치할 필요가 없는 광원 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 복수의 LD 모듈 1, 2는 각각 1개의 LD(laser diode)와 집광 렌즈를 구비하고, 다른 파장의 레이저를 출사한다. 각 LD 모듈 1, 2의 LD는 제어 장치 99에 의해 제어되며, 점등, 비점등 및 출력(조도)을 제어한다. 제1 광섬유 번들 부 b1은 상기 3개의 LD 모듈 1과 1개의 LD 모듈 2의 출사 광이 입력한 4개의 제1 광섬유 5를 통해 제1 커넥터 6을 통해 1 본의 제2 광섬유 7로 집적한다. 3개의 제2 광섬유 7은 또한 제2 광섬유 번들 부 b2에 이끌려 그 출사 말단 측이 노광 헤드 18 내의 DMD 56에 광 조사영역의 모양에 따라 배열 패턴으로 묶어 있으며 제3 광 섬유 9에 접속하고 제2 커넥터 10을 통해 입사 광학계 40에 접속하고, 레이저 광을 노광 장치 B의 노광 헤드 18로 도입한다.