LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS

Provided is a levitation transport apparatus capable of levitating and transporting a substrate without damaging the substrate. The levitation transport apparatus (1) comprises: a levitation stage (2) for levitating a substrate W; a hand unit (51) having a contact unit (53) which is in contact with an end surface of the substrate W, and gripping the substrate W by allowing the contact unit (53) to be in contact with an end of the substrate W levitated by the levitation stage (2); and a moving device (52) for moving the hand unit (51) in a transporting direction of the substrate W. A substrate levitation surface (23), which is a surface for levitating the substrate W of the levitation stage (2), has the width smaller than the width of the substrate W with respect to the width direction which is orthogonal to the transporting direction, and when the hand unit (51) grips the substrate W, the contact unit (53) is in contact with the substrate W on an outer side more than the substrate levitation surface (23) with respect to the width direction, and a lower end of the contact unit (53) is positioned lower than the substrate levitation surface (23). 본 발명은, 기판을 파손시키지 않고 부상 반송시킬 수 있는 부상 반송 장치를 제공한다. 기판 W를 부상시키는 부상 스테이지(2)와, 기판 W의 단부면과 접촉하는 접촉부(53)를 갖고, 부상 스테이지(2)에 의하여 부상해 있는 기판 W의 단부에 접촉부(53)를 접촉시킴으로써 기판 W를 파지하는 핸드부(51)와, 핸드부(51)를 기판 W의 반송 방향을 따라 이동시키는 주행 기구(52)를 구비하는 부상 반송 장치(1)이며, 부상 스테이지(2)의 기판 W를 부상시키는 면인 기판 부상면(23)은, 반송 방향과 직교하는 폭 방향에 대하여 기판 W의 폭보다 좁고, 핸드부(51)가 기판 W를 파지할 때, 접촉부(53)는, 폭 방향에 대하여 기판 부상면(23)보다도 외측에서 기판 W와 접촉하고, 접촉부(53)의 하단부는 기판 부상면(23)보다도 낮은 위치에 있다.