DEVICE TO GENERATE A VAPOR FROM A SOLID OR LIQUID STARTING MATERIAL FOR A CVD- OR PVD-APPARATUS

The present invention relates to an apparatus for generating vapor for a CVD or PVD equipment comprising two or more heat transfer bodies which are arranged continuously in the direction of flow of a carrier gas and have heat transfer surfaces, each of which can be heated to a heat transfer temperature, with a feeding pipe (4) feeding an aerosol to one of the heat transfer bodies for vaporization of the aerosol by bringing the aerosol particles into contact with the heat transfer surfaces. A provision is made that the heat transfer bodies include an aperture inserted with the feeding pipe (4) in an inside thereof, and the feeding pipe (4) includes a first flow channel (23) for feeding the aerosol and a second flow channel (24) for feeding a carrier gas in. At this time, gas passing apertures (29, 30) are provided through which the carrier gas can flow out from the second flow channel (24) to the first flow channel (23). Especially, the second flow channel (24) is closed in the area of the mouth (4′) of the feeding pipe. 본 발명은, 운반 기체의 유동 방향으로 연속적으로 배치된 2개 이상의, 각각 열전달 온도로 가열 가능하고 열전달 표면들을 갖는 열전달 몸체를 구비하고, 에어로졸 입자를 상기 열전달 표면들에 접촉시킴으로써 에어로졸을 증발시키기 위해, 상기 에어로졸을 열전달 몸체들 중 하나의 열전달 몸체로 공급하는 공급 관(4)을 구비하는 CVD- 또는 PVD-장비용 증기를 발생하기 위한 장치와 관련이 있다. 상기 열전달 몸체들 중 하나 이상의 열전달 몸체는 내부에 공급 관(4)이 삽입된 개구를 포함하고, 이때 상기 공급 관(4)은 에어로졸 공급용 제1 유동 채널(23) 및 운반 기체 공급용 제2 유동 채널(24)을 포함하며, 이때 기체 통과 개구들(29, 30)이 제공되어 있고, 상기 기체 통과 개구들을 통해 운반 기체가 상기 제2 유동 채널(24)로부터 상기 제1 유동 채널(23)로 유동할 수 있으며, 이때 특히 상기 제2 유동 채널(24)은 공급 관의 입구(4') 영역에서 폐쇄되어 있다.