VERTICAL CAPACITORS WITH SPACED CONDUCTIVE LINES

A capacitor structure comprises a first metal layer having a plurality of first horizontally-spaced neutral conductive lines horizontally positioned between a first plurality of horizontally-spaced high voltage conductive lines. The capacitor structure further comprises a second metal layer having a...

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Hauptverfasser: STEPHENS JASON EUGENE, AUGUR RODERICK ALAN
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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Beschreibung
Zusammenfassung:A capacitor structure comprises a first metal layer having a plurality of first horizontally-spaced neutral conductive lines horizontally positioned between a first plurality of horizontally-spaced high voltage conductive lines. The capacitor structure further comprises a second metal layer having a plurality of second horizontally-spaced neutral conductive lines horizontally positioned between a plurality of second horizontally-spaced high voltage conductive lines. The capacitor structure further comprises a third metal layer positioned vertically below the first metal layer and above the second metal layer wherein the third metal layer having a plurality of third horizontally-spaced neutral conductive lines horizontally positioned between a plurality of first horizontally-spaced low voltage conductive lines. The first low voltage lines are vertically positioned between the first and second neutral lines. 커패시터 구조는 제1의 복수 개의 수평으로 이격된 고전압 전도성 라인들 사이에 수평으로 위치된 제1의 복수 개의 수평으로 이격된 중간전압 전도성 라인들을 포함하는 제1 금속 층을 포함한다. 상기 커패시터 구조는 제2의 복수 개의 수평으로 이격된 고전압 전도성 라인들 사이에 수평으로 위치된 제2의 복수 개의 수평으로 이격된 중간전압 전도성 라인들을 포함하는 제2 금속 층을 더 포함한다. 상기 커패시터 구조는 상기 제1 금속 층 아래에서 상기 제2 금속 층의 위에 수직으로 위치되는 제3 금속 층을 더 포함하고, 상기 제3 금속 층은 제1의 복수 개의 수평으로 이격된 저전압 전도성 라인들 사이에 수평으로 위치된 제3의 복수 개의 수평으로 이격된 중간전압 전도성 라인들을 포함한다. 상기 제1의 복수 개의 저전압 라인들은 상기 제1의 복수 개의 중간전압 라인들과 제2의 복수 개의 중간전압 라인들 사이에 수직으로 위치된다.