INSPECTION APPARATUS USING POLARIZED LIGHTS

An inspection apparatus using polarized lights according to one aspect of the present invention, includes: an irradiator configured to irradiate an inspection target with a plurality of lights having different polarization states and different wavelengths from each other; a light receiver configured to perform a wavelength demultiplexing of a plurality of lights obtained from the inspection target to separately receive the plurality of lights, and to output a light-receiving signal associated with the plurality of lights obtained from the inspection target; and a processor configured to calculate at least one of an ellipse azimuth, a degree of polarization, and a polarization component intensity using the light-receiving signal and to determine whether the inspection target is defective or non-defective. 본 발명의 일 양태의 편광 검사 장치는, 편광 상태 및 파장이 서로 상이한 복수의 광을 검사 대상물에 조사하는 조사부와, 상기 검사 대상물에서 얻어지는 복수의 광을 파장 분리하여 개별적으로 수광하고, 상기 검사 대상물에서 얻어지는 복수의 광에 따른 수광 신호를 출력하는 수광부와, 상기 수광 신호를 사용하여 타원 방위각, 편광도 및 편광 성분 강도 중 적어도 1 개를 구하여 상기 검사 대상물의 양부 판정을 실시하는 처리부를 구비한다.