SYSTEM AND METHOD TO AUTOMATICALLY SELF-ADJUST A VALVE PEDESTAL OF A MASS FLOW CONTROLLER
개시된 실시예는 질량 흐름 제어기를 개선하기 위한 방법을 포함한다. 일실시예에서, 방법은 제로로부터 비 제로로의 설정 지점 변화의 초기 응답 동안 흐름을 모니터링하는 단계와;밸브 응답이 허용가능한 한계 내에 맞는 지의 여부를 결정하는 단계와; 밸브 응답이 허용가능한 한계 내에 맞지 않는다는 결정에 응답하여 밸브 응답을 정정하기 위해 자가-조정을 자동으로 수행하는 단계를 포함하는 동작을 수행하기 위해, 프로세서를 이용하여 명령을 실행하는 질량 흐름 제어기를 포함한다. The disclosed embodiments include a m...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 개시된 실시예는 질량 흐름 제어기를 개선하기 위한 방법을 포함한다. 일실시예에서, 방법은 제로로부터 비 제로로의 설정 지점 변화의 초기 응답 동안 흐름을 모니터링하는 단계와;밸브 응답이 허용가능한 한계 내에 맞는 지의 여부를 결정하는 단계와; 밸브 응답이 허용가능한 한계 내에 맞지 않는다는 결정에 응답하여 밸브 응답을 정정하기 위해 자가-조정을 자동으로 수행하는 단계를 포함하는 동작을 수행하기 위해, 프로세서를 이용하여 명령을 실행하는 질량 흐름 제어기를 포함한다.
The disclosed embodiments include a method for improving a mass flow controller. In one embodiment, the method comprising the mass flow controller executing instructions, using at least one processing component, to perform operations comprising monitoring flow during an initial response of a setpoint change from zero to non zero; determining whether a valve response fits within an allowable limit; and automatically performing a self-adjustment to correct for the valve response in response to a determination that the valve response does not fit within the allowable limit |
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