SYSTEMS FOR PROVIDING ILLUMINATION IN OPTICAL METROLOGY

본 개시는 조명을 광 계측을 위한 측정 헤드로 제공하는 시스템에 관한 것이다. 본 개시의 일부 실시예에서, 복수의 조명원으로부터 조명 빔은 하나 이상의 선택된 파장의 조명을 측정 헤드로 전달하기 위해 결합된다. 본 개시의 일부 실시예에서, 측정 헤드로 전달된 조명의 세기 및/또는 공간적 간섭이 제어된다. 본 개시의 일부 실시예에서, 하나 이상의 선택된 파장의 조명이 연속하는 파장 범위의 조명을 제공하기 위해 구성된 광대역 조명원으로부터 전달된다. A system for providing illumination to a measure...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SHCHEGROV ANDREI V, MANASSEN AMNON, SHCEMELININ ANATOLY, VASILIEV ANATOLY, ARAIN MUZAMMIL, SHAUGHNESSY DERRICK, BACHAR OHAD, KANDEL DANIEL, KHOKHLOV MAXIM, ISH SHALOM YARON, SVIZHER ALEXANDER, ROTTER LAWRENCE D, BEZEL ILYA, ALLEN JAMES, GHINOVKER MARK, SHULEPOV OLEG, BRADY GREGORY, HILL ANDREW, SELA ILAN, MARKOWITZ MOSHE, TSIBULEVSKY OLEG, ABRAMOV AVI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BLASTING FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMSTHEREOF HEATING INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21Sand F21V, RELATING TO THEFORM OR THE KIND OF THE LIGHT SOURCES OR OF THE COLOUR OF THELIGHT EMITTED LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING NON-PORTABLE LIGHTING DEVICES OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHERARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR SYSTEMS THEREOF VEHICLE LIGHTING DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR VEHICLEEXTERIORS WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 개시는 조명을 광 계측을 위한 측정 헤드로 제공하는 시스템에 관한 것이다. 본 개시의 일부 실시예에서, 복수의 조명원으로부터 조명 빔은 하나 이상의 선택된 파장의 조명을 측정 헤드로 전달하기 위해 결합된다. 본 개시의 일부 실시예에서, 측정 헤드로 전달된 조명의 세기 및/또는 공간적 간섭이 제어된다. 본 개시의 일부 실시예에서, 하나 이상의 선택된 파장의 조명이 연속하는 파장 범위의 조명을 제공하기 위해 구성된 광대역 조명원으로부터 전달된다. A system for providing illumination to a measurement head for optical metrology is configured to combine illumination beams from a plurality of illumination sources to deliver illumination at one or more selected wavelengths to the measurement head. The intensity and/or spatial coherence of illumination delivered to the measurement head is controlled. Illumination at one or more selected wavelengths is delivered from a broadband illumination source configured for providing illumination at a continuous range of wavelengths.