METHODS AND APPARATUS FOR EFFICIENT OPERATION OF AN ABATEMENT SYSTEM

전자 소자 제조 시스템을 작동하는 방법이 제공되고, 이 방법은 인터페이스로 정보를 수신하는 단계 및 상기 정보에 응답하여 저감 툴 및 프로세스 툴을 셧 다운시키는 단계를 포함하고, 이러한 정보는 저감 시스템에 관한 것이다....

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	LOLDJ YOUSSEF A, CRAWFORD SHAUN W, VERMEULEN ROBBERT M, CLARK DANIEL O, FLIPPO BELYNDA, MOALEM MEHRAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CLEANING CLEANING IN GENERAL CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION ORPROCESSING OF GOODS CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PREVENTION OF FOULING IN GENERAL REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	전자 소자 제조 시스템을 작동하는 방법이 제공되고, 이 방법은 인터페이스로 정보를 수신하는 단계 및 상기 정보에 응답하여 저감 툴 및 프로세스 툴을 셧 다운시키는 단계를 포함하고, 이러한 정보는 저감 시스템에 관한 것이다.