CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS HAVING A TUBULAR FILTER TRAP AND REMOTE CONTROL SYSTEM THEREOF

The present invention is to provide a cold chemical vapor deposition apparatus having a tubular filter trap, capable of effectively reducing the overall volume of a facility and production cost and widely applicable to general stores or the like, and a remote control system thereof. The cold chemical vapor deposition apparatus having a tubular filter trap comprises: a heating unit having a vaporization furnace in which a first heater is installed and a decomposition furnace in which a second heater is installed; a vacuum deposition unit which is installed to be connected with one side of the decomposition furnace of the heating unit and has a deposition chamber and a vacuum pump; a filter trap configured to be able to deposit and extract excessive monomers; a measurement unit having a temperature sensor and a vacuum sensor; and a control unit which applies a control signal respectively to the first heater, the second heater, and the vacuum pump. 본 발명은 전반적인 설비의 부피는 물론 생산비용을 효과적으로 줄이고, 다수의 가맹설비를 본사에서 일괄적으로 관리하여 가맹점의 일반관리자에 대한 설비제어가 용이함은 물론 설비를 효율적으로 제어관리함을 제공하도록, 내부에 화학증착원료인 다이머 재료를 투입한 후 폴리머 상태의 다이머로 기화시키도록 제1가열기가 설치되는 기화로와, 상기 기화로의 한쪽에 다이머가 공급될 수 있도록 연결 설치되고 폴리머 상태의 다이머를 단분자 형태인 모노머로 분해시키도록 제2가열기가 설치되는 분해로로 구성되는 가열부와; 상기 가열부의 분해로 한쪽에 연결 설치되되 내부에 피착체를 수용가능하게 구비되고 상기 분해로로부터 공급된 가스 형태의 모노머 단분자가 피착체의 표면에 증착될 수 있도록 진공에 의한 증착공간을 형성하는 증착챔버와, 상기 증착챔버 내에 진공을 생성시킬 수 있게 구동하는 진공펌프로 구성되는 진공증착부와; 상기 진공증착부에서 상기 진공펌프와 상기 증착챔버를 상호 연결가능하게 결합 설치되고 상기 진공펌프에 따른 진공생성과정 및 증착과정에서 생성된 과잉의 모노머를 증착 석출할 수 있도록 구성되는 필터트랩과; 상기 기화로 및 상기 분해로에 각각 설치되어 개개의 온도를 측정가능하게 구비되는 온도센서와, 상기 증착챔버에 설치되고 상기 진공펌프로부터 생성되는 진공값을 측정가능하게 형성되는 진공센서로 구성되는 측정부와; 상기 측정부의 온도센서 및 진공센서로부터 입력되는 측정신호에 따라 상기 제1가열기 및 상기 제2가열기와 상기 진공펌프에 각각 제어신호를 인가하되 온도 및 진공값에 대한 기준값을 설정가능하게 구비되는 제어부;를 포함하는 관형 필터트랩을 갖는 상온 화학증착장치를 제공한다.