SENSOR SYSTEM FOR LITHOGRAPHY

본 발명은 물리적 양을 측정하는 센서 시스템에 관한 것이며, 상기 시스템은 상이한 공간 위치들에서 병렬로 측정을 허용하는 다중 검출기들을 갖는 병렬 검출 구성을 포함하고, 상기 다중 검출기들은 잡음원을 공유하며, 상기 센서 시스템은 다중 검출기들이 각각 물리적 양의 함수로서 신호를 출력하도록 구성되고, 상기 센서 시스템은 적어도 하나의 검출기가 1 이상의 다른 검출기들과는 공유된 잡음원으로부터 발생한 잡음에 상이하게 반응하도록 구성된다. A sensor system to measure a physical quantity, the system including a parallel detection arrangement with multiple detectors to allow measurements in parallel at different spatial locations, wherein the multiple detectors share a noise source, wherein the sensor system is configured such that the multiple detectors each output a signal as a function of the physical quantity, and wherein the sensor system is configured such that at least one detector responds differently to noise originating from the shared noise source than the one or more other detectors.