CONNECTION SYSTEM AND METHOD

본 발명은 유체 연결부를 위한 연결 시스템에 관한 것이다. 더 구체적으로, 몇몇 실시예는 반도체 제조 유체와 함께 사용을 위한 유체 연결부에 관한 것이다. 연결 시스템은 너트(110) 내의 멀티-스타트 나사산의 사용에 의해 연결 너트의 360도 미만의 회전에 의해 유체 피팅(112, 114)을 밀봉하는 연결 너트(110)를 사용한다. 일 실시예에 따르면, 연결 너트는 360도 미만의 회전에 의해 적어도 360도 나사 결합을 생성한다. 실시예는 또한 다수의 포트를 동시에 밀봉할 수 있는 연결 시스템을 제공한다. The present...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MARTLAND CRAIG WALLACE, PUGLIA JOHN P, MENN DMITRI, NIERMEYER J. KARL, LAVERDIERE MARC, LEE BEN MAI PAK, MADHAVARAM KALYAN
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:본 발명은 유체 연결부를 위한 연결 시스템에 관한 것이다. 더 구체적으로, 몇몇 실시예는 반도체 제조 유체와 함께 사용을 위한 유체 연결부에 관한 것이다. 연결 시스템은 너트(110) 내의 멀티-스타트 나사산의 사용에 의해 연결 너트의 360도 미만의 회전에 의해 유체 피팅(112, 114)을 밀봉하는 연결 너트(110)를 사용한다. 일 실시예에 따르면, 연결 너트는 360도 미만의 회전에 의해 적어도 360도 나사 결합을 생성한다. 실시예는 또한 다수의 포트를 동시에 밀봉할 수 있는 연결 시스템을 제공한다. The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.