PURIFICATION SYSTEM

본 발명은 예를 들어 반도체 제조에 사용되는 액체를 포함하는 액체를 정화하기 위한 제거 가능한 정화기 카세트를 사용하는 모듈형 정화 시스템에 관한 것이다. 정화 시스템은 정화기 입구 포트 및 정화기 출구 포트를 갖는 제거 가능한 정화기 카세트, 및 매니폴드 조립체를 포함할 수도 있다. 매니폴드 조립체는 카세트로/카세트로부터 유체를 제공하기 위한 매니폴드 포트를 제공하는 복수의 연결 시스템을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 연결 시스템은 360도 미만의 회전에 의해 360도의 나사 결합을 제공할 수 있는 연결 너트를 사용할 수도...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	KUWABARA HIROKAZU, MARTLAND CRAIG WALLACE, PUGLIA JOHN P, BARROWS LOUIS, MENN DMITRI, NIERMEYER J. KARL, LAVERDIERE MARC, LEE BEN MAI PAK, KURATA KOICHI, MADHAVARAM KALYAN
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BLASTING ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HAND TOOLS HEATING JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES LIGHTING MANIPULATORS MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL MECHANICAL ENGINEERING PERFORMING OPERATIONS PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL PIPES PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS SEPARATION SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING THERMAL INSULATION IN GENERAL TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FORFASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING TRANSPORTING WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	본 발명은 예를 들어 반도체 제조에 사용되는 액체를 포함하는 액체를 정화하기 위한 제거 가능한 정화기 카세트를 사용하는 모듈형 정화 시스템에 관한 것이다. 정화 시스템은 정화기 입구 포트 및 정화기 출구 포트를 갖는 제거 가능한 정화기 카세트, 및 매니폴드 조립체를 포함할 수도 있다. 매니폴드 조립체는 카세트로/카세트로부터 유체를 제공하기 위한 매니폴드 포트를 제공하는 복수의 연결 시스템을 포함할 수 있다. 몇몇 실시예에서, 연결 시스템은 360도 미만의 회전에 의해 360도의 나사 결합을 제공할 수 있는 연결 너트를 사용할 수도 있다. The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.