DETECTION METHOD, MICROARRAY ANALYSIS METHOD AND FLUORESCENCE READING DEVICE
본 발명은, 기판의 높이의 차이를 정확하게 검출 가능한 화상을 취득하는 것이 가능한 검출 방법, 마이크로어레이의 해석 방법 및 형광 판독 장치를 제공하는 것이다. 렌즈에 의해 집광된 레이저광을 요철 형상을 갖는 기판에 조사하고, 기판으로부터의 반사광 및/또는 산란광의 수광 강도를 화상 데이터로서 취득하여 요철 형상의 높이의 차이를 검출하는 검출 방법이며, 렌즈의 초점 위치보다도 렌즈에 가까운 위치에 기판의 광조사면을 배치하고, 광조사면으로부터의 반사광 및/또는 산란광을 검출광으로서 수광하여, 수광한 광의 강도의 변화에 기초하여 기판...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; kor |
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Zusammenfassung: | 본 발명은, 기판의 높이의 차이를 정확하게 검출 가능한 화상을 취득하는 것이 가능한 검출 방법, 마이크로어레이의 해석 방법 및 형광 판독 장치를 제공하는 것이다. 렌즈에 의해 집광된 레이저광을 요철 형상을 갖는 기판에 조사하고, 기판으로부터의 반사광 및/또는 산란광의 수광 강도를 화상 데이터로서 취득하여 요철 형상의 높이의 차이를 검출하는 검출 방법이며, 렌즈의 초점 위치보다도 렌즈에 가까운 위치에 기판의 광조사면을 배치하고, 광조사면으로부터의 반사광 및/또는 산란광을 검출광으로서 수광하여, 수광한 광의 강도의 변화에 기초하여 기판의 높이의 차이를 검출한다.
A detecting method, a microarray analyzing method, and a fluorescence reading device, which enable acquirement of an image, from which a height difference of a substrate is detectable, are provided. In a detecting method of irradiating a substrate having a concave and convex shape with laser light collected by a lens, acquiring, as image data, received light intensity of reflected light and/or scattered light from the substrate, and detecting a height difference of the concave and convex shape, a light irradiation surface of the substrate is arranged at a position closer to the lens than a focal position of the lens is, reflected light and/or scattered light from the light irradiation surface is received as detected light, and a height difference of the substrate is detected based on a change in intensity of the received light. |
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