INSPECTION JIG

The present invention provides an inspection jig which can improve the accuracy of the positioning of a contact in contact with the substrate. The inspection jig (1) includes: a frame (40); an electrode body (6) having an electrode (7); a conductive contact (5) having a wire form; and a support block (100) which includes a facing surface (2a) where a substrate under a test (A) is mounted by facing the surface, guides one end of the contact (5) to a test point of the substrate under a test (A) which is placed on the facing surface (2a), guides the other end of the contact (5) to the electrode (7), and, being relatively movable with respect to the frame (40) along the moving direction crossing the facing surface (2a). The inspection jig also includes a pressing portion (14) which presses the support block (100) in the direction toward the substrate under a test (A) by placing the support block (100) away from the electrode body (6); and a regulation plate (9) which is extended to the extension direction towards the frame (40) from the support block (100), disposed between the support block (100) and the frame (40), and parallel to the facing surface (2a) while having elasticity, wherein modification for the first direction crossing the extension direction is regulated. 본 발명은 기판에 접촉하는 접촉자의 위치 결정 정밀도를 향상시킬 수 있는 검사 지그를 제공한다. 검사 지그(1)는, 프레임(40)과, 전극(7)을 구비하는 전극체(6)와, 와이어 형상을 갖는 도전성의 접촉자(5)와, 피검사 기판(A)이 대향 배치되는 대향면(2a)을 갖고, 대향면(2a)에 적재된 피검사 기판(A)의 검사점에 접촉자(5)의 일단을 안내하고, 접촉자(5)의 타단을 전극(7)에 안내하고, 또한 대향면(2a)과 교차하는 이동 방향을 따라서 프레임(40)에 대하여 상대 이동 가능한 지지 블록(100)과, 지지 블록(100)을 전극체(6)로부터 멀어지게 하여, 피검사 기판(A)을 향하는 방향으로 가압하는 가압부(14)와, 지지 블록(100)으로부터 프레임(40)을 향하는 연장 설치 방향으로 연장되어 지지 블록(100)과 프레임(40)의 사이에 가설되고, 신축성을 가짐과 함께, 대향면(2a)과 평행하고 또한 연장 설치 방향과 교차하는 제1 방향에 대한 변형이 규제된 규제 플레이트(9)를 구비한다.