MASS TRANSFER TOOL

캐리어 기판으로부터 마이크로 디바이스를 이송하기 위한 시스템 및 방법이 개시된다. 일 실시예에서, 대량 이송 기구는 관절형 이송 헤드 조립체, 캐리어 기판 홀더, 및 관절형 이송 헤드 조립체와 캐리어 기판 홀더 간의 공간적 관계를 조정하기 위한 구동기 조립체를 포함한다. 관절형 이송 헤드 조립체는 정전기 이송 헤드들의 어레이를 지지하는 정전기 전압원 접속부 및 기판을 포함할 수 있다. Systems and methods for transferring a micro device from a carrier substrate are disclosed. In an embodiment, a mass transfer tool includes an articulating transfer head assembly, a carrier substrate holder, and an actuator assembly to adjust a spatial relationship between the articulating transfer head assembly and the carrier substrate holder. The articulating transfer head assembly may include an electrostatic voltage source connection and a substrate supporting an array of electrostatic transfer heads.