HEAT TREATMENTING DEVICE

PURPOSE: A heat treatment device is provided to prevent the generation of a drying smear on a coating layer by maintaining uniform temperature on the surface of a substrate. CONSTITUTION: Vibration plates (2) are arranged in a substrate transfer direction (W). An ultrasonic generating part (4) appli...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: MIYAJIMA YUYA
Format: Patent
Sprache:eng ; kor
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