METHOD FOR MANUFACTURING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM, SUBSTRATE HAVING CRYSTALLINE SEMICONDUCTOR FILM, AND THIN FILM TRANSISTOR

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KATO TOMOYA, ODA TOMOHIKO, OOTAKA SEI
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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