METHOD FOR MEASURING LAYER THICKNESS BY MEANS OF LASER TRIANGULATION, AND DEVICE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MELZER JOKISCH TORSTEN, OPPERT ANDREAS, THOMAIDIS DIMITRIOS
Format:	Patent
Sprache:	eng ; kor
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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