FABRICATION OF A FERROMAGNETIC INDUCTOR CORE AND CAPACITOR ELECTRODE IN A SINGLE PHOTO MASK STEP

An integrated circuit capacitor having a bottom plate (50a), a dielectric layer (250'), and a ferromagnetic top plate (20a). Also, a method of manufacturing an integrated circuit on a semiconductor wafer. The method comprising forming a bottom plate of a capacitor (50a) and a bottom portion of...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: BRENNAN KENNETH D, RAO SATYAVOLU S. PAPA
Format: Patent
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!