SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING A STORAGE NODE ENLARGED DIAMETER OF A LOWER PORTION MORE THAN THAT OF A UPPER PORTION AND METHODS OF FORMING THEREOF

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KIM, SUN JOON, SHIN, SHANG KYU, KIM, HYUN CHANG
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	ELECTRICITY
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