Safeguard of pedestal in vertical furnace

PURPOSE: An apparatus for protecting a pedestal of a vertical furnace is provided to selectively exchange the first and second protecting members according to the influence from the process gas inside the vertical furnace by installing a cylindrical protection unit on the circumference of the pedestal such that the protection unit protects the pedestal from corrosion by process gas and contaminants and is composed of the first and second protection members used in the upper and lower parts of the pedestal. CONSTITUTION: The first protection member(121) of a cylindrical type surrounds the circumference of the upper part(111) of the pedestal, placed on the upper support plate(130) of a disc type formed on the pedestal. One end of the second protection member(122) is supported by the lower support plate(140) of a disc type formed under the pedestal, and the other end of the second protection member settles and supports the first protection member. 본 발명은 페데스탈의 사용주기를 확장시키고 장비의 안정적인 운용이 가능토록 한 수직형 퍼니스의 페데스탈 보호장치에 관한 것으로서, 본 발명의 수직형 퍼니스의 페데스탈 보호장치는 웨이퍼 보트를 장착하여 수직형 퍼니스 내부로 장입시키며 상기 수직형 퍼니스 내부의 공정 가스의 영향 유무에 따라 상단부와 하단부로 정의되는 페데스탈에 있어서, 상기 페데스탈의 상부에 형성되어 있는 원판형의 상부 받침대에 안착되어 상기 페데스탈의 상단부 둘레를 감싸는 원통형의 제 1 보호재;와, 상기 페데스탈의 하부에 형성되어 있는 원판형의 하부 받침대에 일단이 지지되며 다른 일단은 상기 제 1 보호재를 안착 지지하는 원통형의 제 2 보호재를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.