Laminator having air blower

PURPOSE: A laminator having an air blower is provided to prevent breakage of a wafer in UV tape bonding or back grinding by previously removing particles. CONSTITUTION: A laminator includes an align part(105) with a wafer support(103) and a tape bonding part(112) for bonding a UV tape(113). The laminator further includes a cylinder(106) with a plurality of air spray holes(107), a pipe(111) for injecting air to the cylinder, and an air blower(110). The air blower(110) further includes a pipe connector(109) for connecting the cylinder to the pipe. 본 발명은 에어 블로워(air blower)가 장착된 라미네이터에 관한 것으로, 본 발명에 의한 라미네이터는 웨이퍼 지지대를 포함한 얼라인(align) 부, UV 테이프(Ultra Violet tape)의 접착을 수행하는 테이프 접착부 및 에어 블로워(air blower)를 포함하고 있으며, 에어 블로워는 다수의 공기 분사 홀을 구비한 실린더, 공기를 상기 실린더에 주입하는 파이프 및 실린더와 상기 파이프를 연결하는 파이프 연결부를 포함한다. 본 발명에 의하면 UV 테이프를 접착하기 전에 미리 이물질을 제거하여 UV 테이프 접착시 또는 백 그라인딩(Back grinding)작업시 웨이퍼의 파손을 방지함으로써 칩의 수율을 향상시킬 수 있다.