Dual type scalar robot used in LCD manufacturing processes

PURPOSE: A dual horizontal articulated robot used in an LCD fabrication process is provided to improve the productivity of the LCD fabrication process by rotating two arm assemblies separately. CONSTITUTION: A dual horizontal articulated robot is composed of a first arm assembly(10) having two rotary arms(12,14) connected to a support shaft(1), a second arm assembly(20) having two rotary arms, and a hand rotating unit. The hand rotating unit is installed in one end of the outer arm of the arm assembly, and rotates a wafer hand mounted at the arm. 본 발명은 LCD 제작공정중에 웨이퍼를 필요한 장소에 적재 및 하역하기 위해 하나의 회전지축에 두개의 아암조립체들이 연결되어 선회 및 회전하면서 LCD 글래스를 포지셔닝할 수 있어 동시에 두가지 작업이 가능한 듀얼타입 스칼라 로봇에 관한 것으로서, 회전 및 승강운동 가능한 지축상에 두개의 회전아암이 연결되어 있는 제1 아암조립체; 상기 지축상에 상기 제1 아암조립체와 나란히 배치되고, 두개의 회전아암이 연결되어 있는 제2 아암조립체; 및 상기 제1, 제2 아암조립체들의 외측 아암의 일단부에 내장되어 그 아암상에 장착된 웨이퍼핸드를 회동시키기 위한 핸드회전수단;을 포함하고, 상기 제1, 제2 아암조립체들이 서로 독립적으로 상기 지축상에서 회전 가능하고, 상기 핸드회전수단이 각 아암조립체들의 외측아암 일단부에 내장되어 있는 것을 특징으로 한다.