Wafer cassette linear motion system used in semiconductor manufacturing processes
PURPOSE: A device for linearly moving a wafer cassette is provided to prevent the torsion of an arm by linearly moving the wafer cassette along a linear guide rail. CONSTITUTION: A device for linearly moving a wafer cassette is composed of a cylindrical support unit(10) rotatably installed, a linear...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | eng ; kor |
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| creator | AHN, SEUNG UK KIM, HAK CHEOL HWANG, CHAN YEONG |
| description | PURPOSE: A device for linearly moving a wafer cassette is provided to prevent the torsion of an arm by linearly moving the wafer cassette along a linear guide rail. CONSTITUTION: A device for linearly moving a wafer cassette is composed of a cylindrical support unit(10) rotatably installed, a linear guide rail mounted at the cylindrical support unit, a power transmission unit(30) mounted at one end of the guide rail, and a table(40) movably mounted at the linear guide rail. A ball screw is mounted at the top of the linear guide rail. The power transmission unit is connected to the ball screw, and rotates the ball screw.
본 발명은 반도체 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키기 위한 선형이동장치에 관한 것으로, 반도체 제작공정중 웨이퍼 카세트를 적재 및 하역하기 위한 스토커 로봇에 있어서: 회전 가능하게 배치된 소정 높이의 박스형 또는 원통형 지지체; 상기 지지체상에 장착되고, 양측에 전체 길이를 따라 소정 높이의 상향 돌출부가 형성되어 있는 소정 길이의 U형의 선형 가이드레일; 상기 가이드레일의 양측 상향 돌출부에 대응하는 역 U형 클램프가 양측에 각각 두개씩 밑면에 장착되어 있고, 상기 선형 가이드레일을 따라 이동하는 평판 형상의 테이블; 상기 가이드레일의 상부 공동에 전장에 걸쳐 길이방향으로 장착되는 볼스크류; 및 상기 선형 가이드레일의 일단부에 장착되고, 상기 볼스크류에 연결되어 볼스크류를 회전시키는 동력전달수단;을 포함하고, 상기 볼스크류의 회전에 의해 상기 테이블이 선형 가이드레일을 따라 이동하면서, 테이블의 상부에 장착된 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키는 것을 특징으로 한다. |
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본 발명은 반도체 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키기 위한 선형이동장치에 관한 것으로, 반도체 제작공정중 웨이퍼 카세트를 적재 및 하역하기 위한 스토커 로봇에 있어서: 회전 가능하게 배치된 소정 높이의 박스형 또는 원통형 지지체; 상기 지지체상에 장착되고, 양측에 전체 길이를 따라 소정 높이의 상향 돌출부가 형성되어 있는 소정 길이의 U형의 선형 가이드레일; 상기 가이드레일의 양측 상향 돌출부에 대응하는 역 U형 클램프가 양측에 각각 두개씩 밑면에 장착되어 있고, 상기 선형 가이드레일을 따라 이동하는 평판 형상의 테이블; 상기 가이드레일의 상부 공동에 전장에 걸쳐 길이방향으로 장착되는 볼스크류; 및 상기 선형 가이드레일의 일단부에 장착되고, 상기 볼스크류에 연결되어 볼스크류를 회전시키는 동력전달수단;을 포함하고, 상기 볼스크류의 회전에 의해 상기 테이블이 선형 가이드레일을 따라 이동하면서, 테이블의 상부에 장착된 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.</description><edition>7</edition><language>eng ; kor</language><subject>CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES ; HAND TOOLS ; MANIPULATORS ; PERFORMING OPERATIONS ; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2003</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20031201&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20030090949A$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76516</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20031201&DB=EPODOC&CC=KR&NR=20030090949A$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>AHN, SEUNG UK</creatorcontrib><creatorcontrib>KIM, HAK CHEOL</creatorcontrib><creatorcontrib>HWANG, CHAN YEONG</creatorcontrib><title>Wafer cassette linear motion system used in semiconductor manufacturing processes</title><description>PURPOSE: A device for linearly moving a wafer cassette is provided to prevent the torsion of an arm by linearly moving the wafer cassette along a linear guide rail. CONSTITUTION: A device for linearly moving a wafer cassette is composed of a cylindrical support unit(10) rotatably installed, a linear guide rail mounted at the cylindrical support unit, a power transmission unit(30) mounted at one end of the guide rail, and a table(40) movably mounted at the linear guide rail. A ball screw is mounted at the top of the linear guide rail. The power transmission unit is connected to the ball screw, and rotates the ball screw.
본 발명은 반도체 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키기 위한 선형이동장치에 관한 것으로, 반도체 제작공정중 웨이퍼 카세트를 적재 및 하역하기 위한 스토커 로봇에 있어서: 회전 가능하게 배치된 소정 높이의 박스형 또는 원통형 지지체; 상기 지지체상에 장착되고, 양측에 전체 길이를 따라 소정 높이의 상향 돌출부가 형성되어 있는 소정 길이의 U형의 선형 가이드레일; 상기 가이드레일의 양측 상향 돌출부에 대응하는 역 U형 클램프가 양측에 각각 두개씩 밑면에 장착되어 있고, 상기 선형 가이드레일을 따라 이동하는 평판 형상의 테이블; 상기 가이드레일의 상부 공동에 전장에 걸쳐 길이방향으로 장착되는 볼스크류; 및 상기 선형 가이드레일의 일단부에 장착되고, 상기 볼스크류에 연결되어 볼스크류를 회전시키는 동력전달수단;을 포함하고, 상기 볼스크류의 회전에 의해 상기 테이블이 선형 가이드레일을 따라 이동하면서, 테이블의 상부에 장착된 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.</description><subject>CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES</subject><subject>HAND TOOLS</subject><subject>MANIPULATORS</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2003</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNjL0KwkAQBtNYiPoOC9bCYWxSiiiClSJYhmXzRQ5yP9zuFb69KXwAq2FgmGVzf_GIQsKqMANNPoILhWQ-RdKPGgJVxUB-VgQvKQ5VLM0NxzqyWC0-vimXJJgnum4WI0-KzY-rZns5P0_XHXLqoZkFEdbfHnvnWuc61x26Y_tf9QUpFjmV</recordid><startdate>20031201</startdate><enddate>20031201</enddate><creator>AHN, SEUNG UK</creator><creator>KIM, HAK CHEOL</creator><creator>HWANG, CHAN YEONG</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20031201</creationdate><title>Wafer cassette linear motion system used in semiconductor manufacturing processes</title><author>AHN, SEUNG UK ; KIM, HAK CHEOL ; HWANG, CHAN YEONG</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_KR20030090949A3</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; kor</language><creationdate>2003</creationdate><topic>CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES</topic><topic>HAND TOOLS</topic><topic>MANIPULATORS</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>AHN, SEUNG UK</creatorcontrib><creatorcontrib>KIM, HAK CHEOL</creatorcontrib><creatorcontrib>HWANG, CHAN YEONG</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>AHN, SEUNG UK</au><au>KIM, HAK CHEOL</au><au>HWANG, CHAN YEONG</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Wafer cassette linear motion system used in semiconductor manufacturing processes</title><date>2003-12-01</date><risdate>2003</risdate><abstract>PURPOSE: A device for linearly moving a wafer cassette is provided to prevent the torsion of an arm by linearly moving the wafer cassette along a linear guide rail. CONSTITUTION: A device for linearly moving a wafer cassette is composed of a cylindrical support unit(10) rotatably installed, a linear guide rail mounted at the cylindrical support unit, a power transmission unit(30) mounted at one end of the guide rail, and a table(40) movably mounted at the linear guide rail. A ball screw is mounted at the top of the linear guide rail. The power transmission unit is connected to the ball screw, and rotates the ball screw.
본 발명은 반도체 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키기 위한 선형이동장치에 관한 것으로, 반도체 제작공정중 웨이퍼 카세트를 적재 및 하역하기 위한 스토커 로봇에 있어서: 회전 가능하게 배치된 소정 높이의 박스형 또는 원통형 지지체; 상기 지지체상에 장착되고, 양측에 전체 길이를 따라 소정 높이의 상향 돌출부가 형성되어 있는 소정 길이의 U형의 선형 가이드레일; 상기 가이드레일의 양측 상향 돌출부에 대응하는 역 U형 클램프가 양측에 각각 두개씩 밑면에 장착되어 있고, 상기 선형 가이드레일을 따라 이동하는 평판 형상의 테이블; 상기 가이드레일의 상부 공동에 전장에 걸쳐 길이방향으로 장착되는 볼스크류; 및 상기 선형 가이드레일의 일단부에 장착되고, 상기 볼스크류에 연결되어 볼스크류를 회전시키는 동력전달수단;을 포함하고, 상기 볼스크류의 회전에 의해 상기 테이블이 선형 가이드레일을 따라 이동하면서, 테이블의 상부에 장착된 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.</abstract><edition>7</edition><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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