Wafer cassette linear motion system used in semiconductor manufacturing processes

PURPOSE: A device for linearly moving a wafer cassette is provided to prevent the torsion of an arm by linearly moving the wafer cassette along a linear guide rail. CONSTITUTION: A device for linearly moving a wafer cassette is composed of a cylindrical support unit(10) rotatably installed, a linear guide rail mounted at the cylindrical support unit, a power transmission unit(30) mounted at one end of the guide rail, and a table(40) movably mounted at the linear guide rail. A ball screw is mounted at the top of the linear guide rail. The power transmission unit is connected to the ball screw, and rotates the ball screw. 본 발명은 반도체 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키기 위한 선형이동장치에 관한 것으로, 반도체 제작공정중 웨이퍼 카세트를 적재 및 하역하기 위한 스토커 로봇에 있어서: 회전 가능하게 배치된 소정 높이의 박스형 또는 원통형 지지체; 상기 지지체상에 장착되고, 양측에 전체 길이를 따라 소정 높이의 상향 돌출부가 형성되어 있는 소정 길이의 U형의 선형 가이드레일; 상기 가이드레일의 양측 상향 돌출부에 대응하는 역 U형 클램프가 양측에 각각 두개씩 밑면에 장착되어 있고, 상기 선형 가이드레일을 따라 이동하는 평판 형상의 테이블; 상기 가이드레일의 상부 공동에 전장에 걸쳐 길이방향으로 장착되는 볼스크류; 및 상기 선형 가이드레일의 일단부에 장착되고, 상기 볼스크류에 연결되어 볼스크류를 회전시키는 동력전달수단;을 포함하고, 상기 볼스크류의 회전에 의해 상기 테이블이 선형 가이드레일을 따라 이동하면서, 테이블의 상부에 장착된 웨이퍼 카세트를 선형으로 이동시키는 것을 특징으로 한다.