APPARATUS AND METHOD OF CLEANING

PURPOSE: A rinsing device and a method thereof are provided to control the spraying angle of nozzles and incline a substrate by a predetermined angle when rinsing the substrate by mounting a driving part for lifting a pipe mounted with a plurality of the nozzles, thereby improving the substrate rinsing efficiency. CONSTITUTION: A rinsing device includes a driving shaft(94) mounted at a side of pipes(71) mounted with a plurality of nozzles for inclining the pipe by a predetermined angle, a driving part(90) for driving the driving shaft, and first and second tilters(84a,84b) for inclining a substrate by a predetermined angle. The driving shaft lifts or lowers the pipes by the driving part. The first and second tilters are to be cylinders and respectively have a securing part(87) contacting the substrate to incline the substrate, and a lift(88) for lifting or lowering the securing part by oil pressure or air pressure. 본 발명은 초순수를 분사하는 노즐의 각도를 조절하여 세정 능력을 향상시킬 수 있는 세정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명은 기판과, 초순수를 공급하는 초순수 공급부와, 상기 기판과 대향되도록 나란하게 설치되어 상기 초순수 공급부로부터 공급받는 다수의 노즐파이프들과, 상기 다수의 노즐파이프들에 설치되어 상기 초순수를 상기 기판 상에 분사하기 위한 다수의 노즐들과, 상기 노즐파이프들을 소정 각도로 기울이기 위한 구동부와, 상기 기판이 안착됨과 아울러 상기 기판을 이송시키기 위한 롤러군과, 상기 기판을 소정 각도로 기울이기 위한 틸터를 구비하는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의한 본 발명은 다수의 노즐이 설치된 파이프를 상승 및 하강시키기 위한 구동부를 설치하여 기판 세정시 기판 을 일정한 각도로 기울임과 아울러 노즐의 분사각도를 조절함으로써 기판 세정능력이 향상된다.