Apparatus of probe type deep-level transient spectroscopy

PURPOSE: A probe type DLTS(Deep-Level Transient Spectroscopy) is provided to measure characteristics of a magnetodiode effectively by connecting an electrode pad and both terminals of a capacitance measuring machine. CONSTITUTION: A probe type DLTS(Deep-Level Transient Spectroscopy) includes a vacuum chamber(500), a sample support portion(510), a probe, a horizontal support stand(533) and a capacitance measuring machine. The vacuum chamber has a magnetodiode(600) exposing a node pad which is a sample to be measured. The sample support portion supports the magnetodiode in the vacuum chamber and changes temperature of the magnetodiode. The probe is connected electrically to the node pad of the magnetodiode by being induced into the vacuum chamber. The horizontal support stand supplies resistant force against expansion and contraction of the sample support portion according to changes of temperature by joining to a side surface of the sample support portion. The capacitance measuring machine is connected to the node pad of the magnetodiode with the probe to changes of capacitance of the sample. Thereby, time and effort for measuring the DLTS are reduced. 탐침형 깊은 준위 과도 전기 용량 분광기(deep-level transient spectroscopy)를 제공한다. 본 발명의 일 관점에 따른 장비는 측정될 시료인 전극 패드가 노출된 반도체 소자를 담는 진공조와, 진공조 내에서 반도체 소자를 지지하며 반도체 소자의 온도를 변화시키는 시료 지지부와, 진공조 내로 도입되어 반도체 소자의 전극 패드에 접촉하여 전기적으로 연결되는 탐침과, 시료 지지부의 측면에 잇대어져 온도 변화에 의해서 시료 지지부가 수평 방향으로 열 팽창 또는 수축하는 데 대해 저항하는 힘을 제공하는 수평 지지대, 및 탐침을 통해 반도체 소자의 전극 패드에 전기적으로 연결되어 온도 변화에 따른 시료의 정전 용량 변화를 측정하는 정전 용량 측정기를 포함하여 이루어진다.