2 3 OPTICAL APPARATUS FOR MEASURING THE TWO AND THREE-DIMENSIONAL SHAPE OF AN OBJECT

PURPOSE: An optical 2D and 3D profile measuring system is provided to selectively measure a 2D profile or a 3D profile by using projection lattices without using a reference surface. CONSTITUTION: An optical 2D and 3D profile measuring system includes a CCD camera(11) installed at an inner upper portion of a probe case(10) so as to obtain 2D or 3D image information of an object. A first illumination section(15) is mounted under the CCD camera(14) so as to illuminate a measuring surface of the object when measuring 2D profile of the object. A second illumination section(18) is installed in a photographing hole(17) formed at a lower surface of the probe case(10) so as to illuminate an edge part of the object when measuring 2D profile of the object. A third illumination section(23) is provided to illuminate a measuring surface of the object through a projection lattice(22), a projection lens(20), a total reflection mirror(19) and the photographing hole(17) when measuring 3D profile of the object. The projection lattice(22) is shifted by means of a piezoelectric actuator(24). 본 발명은 광학식 2차원 및 3차원 형상 측정 시스템에 관한 것으로, 특히 프로브 케이스(10)의 내측 상부에 장착되며 결상렌즈(13)를 통해 측정물(P)의 2차원 및 3차원 영상정보를 획득하는 CCD 카메라(11)와; 상기 CCD 카메라(11)의 하방에 장착되며 2차원 형상 측정시 측정물(P)의 측정면을 조명하는 제1 조명부(15)와; 상기 제1 조명부(15)의 하방인 프로브 케이스(10)의 저면에 형성된 촬상공(17)에 장착되며 2차원 형상 측정시 측정물(P)의 모서리 부분을 조명하는 제2 조명부(18)와; 상기 프로브 케이스(10)의 일측에 장착되며 측정물(P)의 3차원 형상 측정시 투영격자(22), 투영렌즈(20), 전반사 미러(19) 및 상기 촬상공(17)을 통해 측정물(P)의 측정면을 조명하는 제3 조명부(23)와; 상기 투영격자(22)를 미소 이동시키는 PZT 액츄에이터(25)를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 측정방식의 선택만으로 측정물에 대한 2차원 및 3차원 형상측정을 선택적 또는 교번적으로 실행할 수 있으며, 아울러 기준면을 사용하지 않고 투영격자만으로 3차원 형상을 측정할 수 있음에 따라 측정오차를 최소화할 수 있다.