3 / Tree demensional shape/surface illumination measuring apparatus

PURPOSE: A measuring apparatus for a three-dimension shape and surface roughness is provided to measure the three-dimension shape and surface roughness with an objective lens regardless of a straight degree of the objective lens by obtaining moving amount with light receiving at a specific wavelength range. CONSTITUTION: A measuring apparatus for a three-dimension shape and surface roughness comprises a first mirror filter(1), a second mirror filter(2) and a laser interferometer(3). The first mirror filter is installed slantingly between a light divider(216) and an immersion lens(220) to reflect a specific wavelength range. The second mirror filter interlocked with an objective lens(217) on a same optical axis is installed to an upper portion of the objective lens. The laser interferometer is installed to a side of the first mirror filter on a rectangular optical axis to the optical axis of first and second mirror filters. Thereby, moving amount of the objective lens is sensed by emitting light of the laser interferometer and receiving light of first and second mirror filters. Therefore, the three-dimension shape and surface roughness are measured regardless of a straight degree of the objective lens. 본 발명은 3차원 형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 구동부에 의해 상하로 미세 이동하는 대물렌즈의 이동량을 특정파장대의 광을 수광하는 것에 의해 그 이동량을 획득할 수 있도록 구성함으로써 대물렌즈의 직진도에 무관하게 상기 대물렌즈에 의한 3차원 형상/표면조도의 측정이 이루어질 수 있도록 하고, 이로인해 기기의 신뢰성 확보 및 측정의 정확성을 기할 수 있도록 한 3차원 형상/표면조도 측정장치에 관한 것이다. 본 발명은 제1 렌즈(212), 제2 렌즈(213), 제3 렌즈(214)를 통과한 광원(211)의 백색광을 전반사 미러(215)를 통해 광분할기(216)로 인가되게 되고, 상기 광분할기(216)로 인가된 백색광은 대물렌즈(217)와 기준면(218) 및 광분할기(216)를 통해 측정물(P)로 조사되어 간섭을 일으키게 하며, 이 간섭무늬는 결상렌즈(220)를 통해 CCD카메라(221)로 촬상하여 3차원 형상을 측정할 수 있도록 구성됨에 있어서, 상기 광분할기(216)와 결상렌즈(220) 사이에 특정 파장대만 반사시키는 제1 반사필터(1)가 경사 설치되고, 상기 대물렌즈(217)의 상부측에는 대물렌즈(217)와 동일 광축을 이루면서 연동되는 특정 파장대의 제2 반사필터(2)가 수평 설치되며, 상기 제1 반사필터(1) 및 제2 반사필터(2)의 광축과 직각을 이루는 광축 상의 제1 반사필터(1) 측방에 레이저 간섭계(3)가 구비되어 상기 레이저 간섭계(3)의 발광 및 제1 반사필터(1) 및 제2 반사필터(2)를 통한 수광에 의해 대물렌즈(217)의 이동량을 감지할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다.