Method for prevention of frost in semiconductor test handler

PURPOSE: A method for preventing frost of a semiconductor device test handler is provided to minimize the generation of the frost by using the contact between the cooling fluid and the external air. CONSTITUTION: A test site of a handler includes a preheating portion, a test socket(3), and an index device(5a,5b). The preheating portion includes a heater and a cooling fluid supply portion(42) in order to heat or cool a semiconductor device to the predetermined temperature. The test socket is used for testing the semiconductor device. The index device is used for transferring the semiconductor device from the preheating portion to the test socket. A chamber having exhaust holes(22) is installed to seal the test site. The cooling fluid of the cooling fluid supply portion is vaporized within the preheating portion and the index device and exhausted to the outside. The internal air of the chamber is exhausted to the outside by using the high internal pressure. The cooling fluid is formed with liquid nitrogen. 본 발명은 반도체 소자를 테스트하는 핸들러에서 성에가 발생하는 것을 방지하기 위한 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 내부에 히터 및 냉각유체 공급수단을 구비하여 안착된 반도체 소자를 소정의 온도로 가열 및 냉각되는 예열부와, 반도체 소자의 테스트가 이루어지는 테스트소켓과, 내부에 히터 및 냉각유체 공급수단을 구비하고 상기 예열부로부터 테스트소켓으로 반도체 소자를 이송하여 장착하여 주는 인덱스장치를 포함하여 구성된 핸들러의 테스트 사이트에서 저온 테스트시 성에 발생을 방지하기 위한 방법에 있어서, 미세한 배기공이 형성된 챔버를 상기 테스트 사이트를 밀폐하도록 설치하고, 상기 예열부 및 인덱스장치의 각 냉각유체 공급수단을 통해 공급되는 냉각유체가 예열부 및 인덱스장치 내부에서 열교환된 후 외부로 배출되도록 하여, 상기 외부로 배출되는 냉각유체에 의해 챔버 내부 압력을 고압으로 유지하여 챔버 내부의 공기를 배기공을 통해 챔버 외부로 배출시키고 외부의 공기가 챔버 내부로 유입되지 않도록 한 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 성에 방지 방법이 제공된다.