Phase shifting actuator for Fizeau interferometry

PURPOSE: A phase-transition actuator for a Fizeau interferometer is provided to precisely measure aberration of a lens and a flat plate by finely moving a reference surface of the Fizeau interferometer in an optical axis direction. CONSTITUTION: A phase-transition actuator includes first and second leaf springs(1,1A). A cylindrical fixing member(2) having an inner flange(21) and an outer flange(31) is provided at one side of a driving member(3). The first and second leaf springs(1,1A) are screw-coupled to both ends of the cylindrical fixing member(2) and the driving member(3). First and second fixing rings(5,6) are provided at both sides of the cylindrical fixing member(2). The first and second fixing rings(5,6) are screw-coupled into the driving member(3) so that inner portions of the first and second leaf springs(1,1A) are securely fixed. Third and fourth fixing rings(7,8) are provided at an outer portion of the fixing member(2). The third and fourth fixing rings(7,8) are screw-coupled into the driving member(3) so that outer portions of the first and second leaf springs(1,1A) are securely fixed. 본 발명은 피조 간섭계(Fizeau interferometery)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 상기 피조 간섭계의 기준면을 임의로 광축 방향으로 미세 이동시킬 수 있도록 함으로써 렌즈나 평판 등에 대한 수차 측정이 보다 정확하게 이루어질 수 있도록 하고, 이로인해 피조 간섭계를 이용한 수차 측정의 신뢰성을 확보할 수 있도록 한 피조 간섭계용 위상천이 구동장치에 관한 것으로서, 이는 중공의 고정체(2)와 구동체(3)를 구비하되, 상기 고정체(2) 및 구동체(3)의 각 일측부에 상호 대향되게 내측플랜지(21) 및 외측플랜지(31)가 일체로 형성되고, 이들 사이에 압전소자(4)가 개재되게 하여 상기 압전소자(4)에 의해 고정체(2) 내부에서 구동체(3)가 미세구동될 수 있도록 구성되며, 고정체(2) 및 구동체(3)의 양단부에 각각 중공의 제1 판스프링(1) 및 제2 판스프링(1A)의 내경 및 외경이 각각 고정되어 상기 제1 판스프링(1) 및 제2 판스프링(1A)에 의해 구동체(3)가 원위치될 수 있도록 구성함으로써 측정하고자 하는 렌즈나 평판의 수차에 대한 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있을 뿐만 아니라 이로인해 피조 간섭계를 이용한 측정의 정확성 및 신뢰성을 한층 증대시킬 수 있는 효과가 있다.