Apparatus for providing square wave synchronized with resonance signal to non-contact atomic force microscope and methods therefor

PURPOSE: A device and a method for supplying square waves synchronized with resonance signals to a non-contact atomic force microscope are provided to supply a square wave having a desired duration time and amplitude to the microscope at a desired time point, thereby forming more precise nano-patterns and improving the reliability of a tip. CONSTITUTION: A device for supplying square waves synchronized with resonance signals to a non-contact atomic force microscope for carrying out nano-lithography by receiving a resonance signal, includes a square wave generating unit(300) for generating a square wave having a predetermined phase synchronized with the resonance signal, and a duration time control unit(600) for controlling a duration time of a high signal section of the square wave by a predetermined value. 본 발명은 공진 신호를 입력받아 나노 리소그래피(nano-lithography)를 수행하는 비접촉형 원자간력 현미경(Non-contact Atomic Force Microscope)에 입력 신호를 공급하는 장치 및 방법에 관한 것으로 구체적으로 상기 공진 신호에 동기화된 소정의 위상을 갖는 구형파를 발생시키는 구형파 발생 수단; 및 상기 구형파의 하이(high) 신호 구간의 지속시간을 소정의 값으로 조절하는 지속시간(duration time) 조절 수단을 포함하는 장치 및 상기 장치를 이용하여 입력 신호를 공급하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 장치 및 방법에 의해서 비접촉형 원자간력 현미경을 이용하여 좀 더 정밀한 나노 리소그래피를 수행할 수 있게 된다.