A apparatus for cleaning a surface of thing

PURPOSE: An apparatus for cleaning a surface of a cleaned body is provided to perform easily a cleaning process by increasing intervals between the cleaned body and molecules of alien substances. CONSTITUTION: A cleaned body(100) is loaded on a table. A nozzle portion(200) is formed at an upper portion of the table in order to inject a cleaning solution to the cleaned body(100). A heating portion is used for heating the cleaned body(100). A mobile block(70) is installed at a bottom portion of the table in order to support the table. The table is rotated around a rotary shaft(30). A guide rail(40) is formed at a bottom face of the mobile block(70). A plurality of guide blocks(41,42) are installed in the guide rail(40). A motor(50) is installed at the mobile block(70). The driving power of the motor(50) is transmitted to the table by a plurality of connection gears(61,62). A heating plate(20) is formed at a bottom portion of the table. A through-hole(31) is formed on an outer circumference of the rotary shaft(30). A thermal sensor(25) is used for detecting a temperature of the heating plate(20). 피세정체의 표면으로부터 이물질의 박리가 수월하도록 한 세정장치에 대해개시한다. 이 장치는 피세정체(100)를 탑재하는 테이블(10)이 회전가능하게 마련되어 있고, 테이블의 상부측에는 피세정체에 대하여 세정유체를 분출시키는 노즐부(200)가 마련되어 있으며, 피세정체를 일정온도로 가열시키는 가열수단을 구비한다. 테이블의 저부에는 테이블을 회전가능하게 지지하는 이동블럭(70)이 마련되어 있고, 테이블은 회전축(30)을 중심으로 회전가능하게 되어 있다. 이동블럭(70)의 저면에는 길이방향으로 길게 형성된 가이드레일(40)에 슬라이딩 가능하게 결합되는 가이드블럭(41)(42)이 마련되어서 이동가능하게 되어 있다. 이동블럭에는 모터(50)가 지지되어 있고, 모터의 동력이 테이블에 전달되도록 연결기어(61)(62)들이 지지되어 있다. 가열수단은 테이블의 저면에 열판(20)이 부착되고, 열판에 전기를 공급하는 전원선을 연결하여서, 전열에 의해 가열된 테이블을 통하여 피세정체가 가열되도록 되어 있다. 이와 같은 세정장치는 피세정체의 표면을 열판 또는 세정로내에서 가열시킨 후 일정압으로 분사되는 세정유체를 충돌시킴으로써 이물질이 피세정체의 표면으로부터 수월하게 박리될 수 있게하여 세정효율을 향상시킨다.